10月9日，北京经济技术开发区之所新质产业园，华毅瀛飞（北京）光电科技有限公司的工程师正在MOCVD机台上用特制吸笔小心翼翼地取出纳米工艺的磷化铟外延片。

制备磷化铟外延片是制造3.2T光互联芯片的第一步，MOCVD机台则是制备这类化合物半导体的核心装备。作为一家专注于高端光电子芯片及器件研发的高科技企业，华毅瀛飞致力于攻克高端光芯片国产化难题，由其运营的北京信息光电子芯片平台已于今年6月30日投产。

本报记者 蒋菡 摄