原标题：第三届“科苑名匠”——夏洋

夏洋 中国科学院微电子研究所 研究员

长期专注于集成电路技术及装备研究，为微电子所仪器设备研发中心创始人，带领研究团队瞄准国家战略需求，突破了多项关键核心技术。他在不断的努力与尝试中攻坚克难，在多项国家重大科技计划项目中承担微电子仪器设备的研发工作，成功开发出原子层沉积系统、浸没式等离子注入机、电感耦合等离子体刻蚀机、365纳米i线曝光机等集成电路装备，同时研发出原创变电场原子层沉积、吸附反应外延等装备，实现了我国集成电路高端设备的重大突破。研发的仪器设备在国内外科研单位销售超千台，有力的支撑了中科院、北京大学、清华大学等百余家高校院所的前沿科学研究，同时通过核心技术支持和促进了我国多家集成电路装备龙头企业的发展。作为一名老师，他为了能让学生更直观的了解和掌握微电子仪器操作方法，配套专业课程专门研发了集成电路系列科教融合设备，采用创新的“讲授+实验”教学模式，为集成电路工艺技术培养了大量的工程性专业人才。

他从探索、实践、认识再实践中不断汲取创新的动力，“尽精微，集广成，将国产仪器扎根祖国大地”是他的誓言，也是他永远为之奋斗的理想！（中科院工会 推荐单位：微电子研究所）